MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究

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MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究,李亚茹,袁晓敏,本文采用MEMS工艺完成对三维格栅分流型富集器结构的加工。分别以碳纳米管和Tenax-TA作为吸附材料,完成这两种吸附材料的吸附性能对比

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