基于矢量波像差理论的两镜系统装调技术研究

针对含有离轴非球面的两镜光学系统,利用三阶矢量波像差理论建立了离轴抛物面主镜的波像差模型和系统内失调量与波像差泽尼克多项式系数的关系模型。在对复杂光学系统的粗装调完成后,利用高精度的自准干涉检测以得到

波前像差 / Zernike多项式 / 像差

国内网上的资料对波前像差的解释不是很全面，尤其是用Zernike多项式表示的波前像差。文档来自外网，结合了很多3D示意图，生动解释了波前像差的含义。对光路系统的波前像差分析、理解和优化有很大的帮助。

基于矢量像差的自由曲面光学系统像差特性研究

基于矢量像差理论，提出了以Zernike 多项式为表征函数的自由曲面光学系统像差分析方法，推导了在未消像散和彗差的光学系统中引入自由曲面后系统像差解析表达式，利用光学设计软件对远离光阑位置的自由曲面所

基于自准直原理的小视场镜头波像差测试系统

为实现对小视场光学镜头波像差的快速、高精度检测，将自准直原理与斐索型激光球面干涉仪检测波像差原理结合起来，提出一种基于自准直原理的光学镜头波像差检测系统。介绍了斐索型激光球面干涉仪检测波像差的工作原理

matlab像差初始计算

用matlab编写的计算像差得初始程序，只需改下数字即可计算出像差。

基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法

提出一种基于阶梯相位环空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测方法。通过对相位环空间像进行主成分分析和多元线性回归分析，构建了空间像光强分布与波像差之间的线性模型，并基于该模型实现了波像差检测。与使用

大像场离轴三反望远镜畸变特性分析与设计

低畸变大像场望远镜是实现宽波段高光谱成像系统图像数据高精度配准融合的关键。基于解析法和矢量波像差理论，分析离轴三反光学系统的畸变，提出了一种消畸变的离轴三反系统的设计方法通过解析法计算参数，建立同轴三

zemax像差图分析

zemax像差分析

基于空间光调制器的全息透镜记录波前像差优化方法

提出了一种基于空间光调制器（SLM）的全息透镜（HL）记录波前像差的优化方法。从波像差理论出发，经过理论分析得出透射式全息透镜的像差表达式与像差特性，绘制了全息透镜的一维像差曲线，提出了基于空间光调制

全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响

光栅衍射波像差作为全息光栅重要的技术指标之一，直接影响光栅分辨率，其中曝光光学系统的调节误差是引起光栅衍射波像差的主要因素。采用q参数讨论了高斯光束在光栅曝光光学系统中的传播和变换，通过计算高斯光束经

自由曲面校正光学系统像差的研究

利用条纹泽尼克多项式来表征自由曲面的光学元件，并将多项式中表示初级球差、彗差、像散项转换为矢量形式。利用矢量波像差理论,研究了自由曲面光学元件校正光学系统初级像差的特性。通过分析可知，自由曲面在光学系

基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法

提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统计分析，获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。以噪声标准差为权重因子，利用加权最小二乘法对空间像进行主成分分解，可以实现对空间

基于光线像差的波前编码系统离轴像差敏感性分析

从几何光学角度出发，分别对含有像散和彗差的波前编码系统成像特性进行了分析，推导了含有像散和彗差波前编码系统的光线像差，计算了光线像差的上下边界。通过光线像差及点列图分析了波前编码系统对像散和彗差的敏感

基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术，实验装置简单，抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测，并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光

超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析，构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高

基于波像差函数建立大口径施密特校正板方程

施密特光学系统由施密特校正板和球面反射镜组成，校正板设置在球面反射镜的球心处，系统的焦点不一定和反射镜的焦点重合。为了得到精确的校正板面形初始结构参数，基于波像差函数建立了带有离焦量的大口径施密特校正

基于波前像差的图像质量评价方法研究

图像质量评价的研究已成为图像信息工程的基础技术之一。由于图像的最终接受者是人，所以评价图像质量应反映出人类的主观视觉感知。为构造一种符合人眼视觉特性的图像质量评价方法，利用点扩散函数针对人眼建立了含有

基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式，在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析，在快速建模的同时实现高阶波像差的高精

偏轴自由曲面光学系统像差特性研究

基于矢量像差理论，提出了以Fringe Zernike多项式为表征函数的偏轴自由曲面光学系统像差分析方法，推导了偏轴自由曲面系统的三阶像散和彗差解析表达式，分析了自由曲面对偏轴系统像差节点分布的影响。

详细ZEMAX使用教程，包含像差分析，操作实例

超详细ZEMAX使用教程，具体介绍了所有像差的理论，并结合ZEMAX的仿真图进行分析，还有具体的实例操作教程。

大口径反射镜面形误差对光学系统像差特性的影响

依据波像差理论和坐标变换分析了大口径反射镜面形误差对光学系统初级像差特性的影响。利用Fringe Zernike多项式表示光学系统的波像差和反射镜面形误差，通过变换矩阵分析可知当系统孔径光阑（出瞳或入

失调同轴三反消像散系统消彗差补偿

三阶彗差是同轴三反消像散(TMA)光学系统镜面失调产生的主要像差之一。使用矢量像差理论分析了同轴TMA光学系统失调后彗差变化特性，给出了次镜和三镜像差偏移矢量的求解方法及公式，并推导了系统次镜和三镜失

波像差与光束质量β因子的关系

分析了光学系统的波像差与对应的光束质量β因子间的关系,推导了光束质量β因子的近似计算公式。用数值计算方法建立了各种泽尼克多项式的波像差均方根值(RMS)与β因子间的拟合关系式。在此基础上,分析了科尔莫

Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究

Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性，具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点，适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测。基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统，根据光栅

应用于空间激光通信系统的偏瞳天线设计

提出了一种空间激光通信系统的偏瞳天线系统，以克服传统卡塞格林两镜系统存在接收视场小、发射效率低等缺点。基于矢量波像差理论，提出了一种偏瞳天线光学系统的光学设计方法。作为实例，设计了一个通光孔径为200

纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析

在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中，均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期

基于渐近解的静电成像静电电子光学近轴横向像差理论及验证

在成像电子光学中，传统上一直关注研究三阶几何横向像差和二阶近轴横向像差，但是几乎忽略了三阶近轴色差和三倍放大近轴色差的存在。 ，而理论上尚未研究近轴横向像差的一般形式。 本文在近轴方程的渐近解的基础上

极紫外光刻投影物镜波像差在线检测技术

投影物镜波像差在线检测技术是极紫外光刻(EUVL)实现32 nm及其以下技术节点的关键技术,对于光刻机的整机集成具有重要研究意义和实用价值。介绍了目前国际上极紫外光刻投影物镜波像差在线检测技术的最新研

基于渐近解的静电成像电子光学近轴横向像差理论

<SPAN id=Abstract>在迄今为止的成像电子光学研究中,备受关注的是二级近轴横向像差(即二级近轴色差)和三级几何横向像差,几乎忽略了三级近轴色差和三级近轴放大率色差的存在,理论上也没有给出

双波前校正器全光路像差校正自适应光学系统像差解耦分析

分析了双波前校正器全光路像差校正自适应光学系统的工作原理, 并通过共模波前传感器中的两套波前传感器探测得到的波前信息进行数据差分融合, 按照优化理论推导了两套波前校正器需要校正的像差公式。根据此像差公