影响氮化硅陶瓷内圆磨削加工表面形貌因素分析 (2014年)

目的 研究氮化硅陶瓷在内圆磨削时不同的磨削参数：砂轮线速度(vs)、径向进给速度(f、轴向振荡速度(fa)对表面粗糙度的影响．方法 采用树脂结合剂金刚石砂轮对氮化硅陶瓷试件进行内圆加工实验，进行了3因素的均匀实验．建立了氮化硅陶瓷内圆磨削的经验公式，利用Taylor-Hobson Surtroni25型接触式粗糙度仪对加工表面进行测量，得到不同磨削参数下的粗糙度；用日立S-4800冷场发射电子显微镜对加工表面进行观测，得到被磨试件的表面形貌图像．结果 加工表面粗糙度随砂轮线速度的增大而减小，随径向进给速度