微机电系统（MEMS）模型数学研究简介

微机电系统（MEMS）模型数学研究简介，张艳艳，，本文简介微机电系统的物理背景、数学模型和部分研究结果。微机电系统，简称MEMS（micro-electromechanical system），是指微米或纳米级的元�