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微机电系统引论(主要讲述MEMS的工艺以及一些力学知识)
微机电系统引论(主要讲述MEMS的工艺以及一些力学知识)
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中科院MEMS课件,主要讲述工艺知识以及首例分析。。。
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fangshuixun
2014-03-11
MEMS入门比较好
tanhe09
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