SECS-HSMS 底层协议详细文档

所需积分/C币:13 2019-09-12 12:50:20 1.97MB RAR
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由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚,和设备通信的SECS协议文档很难找全,很少有详细介绍每个SxFx的功能定义,资源相对缺乏,特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。

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lenmon127 资源一般般。
2020-05-15
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sqjmike 还好,不过都别人已上传过的东西,描述不清晰,致使重复下载,浪费积分。
2020-05-08
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