SECS-HSMS 底层协议详细文档


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由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚,和设备通信的SECS协议文档很难找全,很少有详细介绍每个SxFx的功能定义,资源相对缺乏,特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。
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2020-05-15
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2020-05-08
有人做过secs/hsms协议的项目么?_course
2017-08-25最近公司想做智能制造项目,想节省成本,所以想自己搞eap。跟设备沟通已经搞了半个月了,真是头疼。 现在能做能连接上设备,且能接收到设备发给我的设备名称和软件版本。 但是我想控制设备和获得更多设备的参数
请教CIM 通讯 SECS2 的HSMS TCP/IP 通讯程序 的编写高手_course
2007-03-09本人现在在开发一个项目,在设备之间使用CIM 通讯,通讯规格为SECS2 的 HSMS 通讯协议,我有此协议的规格,我也曾经写过TCP/IP的通讯程序,但对HSMS第一次接触,能请教高人,介绍一下编写
620KB
HSMS格式讲解
2018-11-21SECSII HSMS 数据格式讲解 HSMS Communication Started! HSMS Communication Disconnected!
762KB
C# SECS-HSMS 底层协议代码
2019-12-21新上传基于.NET C#的HSMS协议源代码,没有封装过,供大家参考使用,串口RS232通信的代码另行上传
55KB
c# SECS HSMS编程
2018-08-21关于半导体SEMI SECS SECS-I SECS-II GEM HSMS的一个程序,采用SEMI E37的协议规格编程,来完成和半导体生产设备的通讯
259KB
SECS 通讯协议介绍
2018-06-15SECS 通讯协议介绍,如果想从事半导体行业自动化开发的话,可以了解一下
5.90MB
SEMI 通讯协议模拟软件
2018-02-03能够模拟支持的HSMS,SECS协议设备,非常好用的调试软件
189KB
GEM,SECS1,SECS2,HSMS 协议实现源代码 C++版本
2019-08-26GEM,SECS1,SECS2,HSMS 协议实现源代码 C++版本
13.34MB
HSMS通信资料文档及调试执行文件
2018-11-21从网络搜集的HSMS的协议文档以及PPT介绍,几乎是百度能搜到的有效资料的结合了,相信下了这个压缩档就没必要再用baidu进行中文搜索了。 该资料适合初阶学习及高手查阅用。
大家有没有C++实现的SECS通信协议_course
2012-04-17如题,或者有这方面的说明文档也行?谢谢大家帮忙啊!
SECS/GEM 通信协议_course
2013-08-26谁懂SECS/GEM 通信协议
SECS Emulator secs gem调试工具下载_course
2018-09-30ITRI CIM Emulator能够读取SML档案,主要功能是用来测试半导体设备的通讯功能,它支持SECS-I/SECS-II/HSMS-SS通讯协议,支持SML格式,具有强大易用的自动化测试功能,
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