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XPS分析原理PPT教案.pptx
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会计学
1
XPS
分析原理
引言
X
射
线
光
电
子
谱
是
重
要
的
表
面
分
析
技
术
之
一
。
它
不
仅
能
探
测
表
面
的
化
学
组
成
,
而
且
可
以
确
定
各
元
素
的
化
学
状
态
,
因
此
,
在
化
学
、
材
料
科
学
及
表
面
科
学
中
得
以
广
泛
地应用。
第
1
页
/
共
83
页
引言
X
射
线
光
电
子
能
谱
是
瑞
典
Uppsala(
乌
普
萨
拉
)
大
学
K.Siegbahn
(
西
格
巴
恩
,
1924
年
获
诺
贝
尔
物
理
学
奖
。
也
表
示
X
射
线
波
长
单
位
,
10
-
15
m
)及其同事
经过近
20
年的潜
心
研
究
而
建
立
的
一
种
分
析
方
法
。
他
们
发
现
了
内
层
电
子
结
合
能
的
位
移
现
象
,
解
决
了
电
子
能
量
分
析
等
技
术
问
题
,
测
定
了
元
素
周
期
表
中
各
元
素
轨
道
结
合
能
,
并
成
功
地
应
用于
许多
实际的
化学
体系。
第
2
页
/
共
83
页
西
格
巴
恩
给
这
种
谱
仪
取
名
为
化
学
分
析
电
子
能
谱
(Electron
Spectroscopy
for
Chemical
Analysis
)
,
简
称
为
“
ESCA
”
,
这
一
称
谓
仍
在
分
析
领域内广泛使用。
随
着
科
学
技
术
的
发展
,
XPS
也
在
不
断
地
完
善
。
目
前
,
已
开
发
出
的
小
面
积
X
射
线
光
电
子
能
谱
,
大
大
提
高了
XPS
的
空间分
辨能
力。
引言
第
3
页
/
共
83
页
XPS
理论依据
-
光电效应
Cor
e leve
ls
h
V
alance band
费米能级
E
F
绝对零度下被电子占据的最高能级
真空能级
E
V
Binding
Energy
Kinetic
Energy
Photoelect
r
on
产生的光电子
的动能(
KE)
取决于
:
发射电子在原子轨
道中的结合能
(BE)
,入射光子的能量
(
h
)
,仪器条件(能谱仪功函数
)。
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4
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