第四章 精密机械系统的设计
在测控仪器中,精密机械系统对保证仪器的测量精度、定位精度和运动
精度起着关键的作用。随着精密测量与控制技术的飞速发展,对测控仪器中
的精密机械系统的功能和精度要求也越来越高。如对基座的变形要控制在亚
微米量级;对工作台的定位精度和传动精度要求能达到 0.1μm ;对导轨的直
线度要求达到 0.1μm/m ;主轴的回转精度要求达到 0.01μm 等。
本章在精密机械设计基础上,重点对系统精度和性能影响较大的机械结
构进行研究,如:基座、导轨、轴系及伺服系统进行等。
本章共分为五节:
第一节 仪器的支承件设计
第二节 仪器的导轨及设计
第三节 主轴系统及设计
第四节 伺服机械系统设计
第五节 微位移机构及设计