MEMS陀螺仪原理.pdf

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mems 陀螺仪 即硅微机电陀螺仪,绝大多数的 MEMS 陀螺仪依赖于相互正交的振 动和转动引起的交变科里奥利力。 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集 机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一 体的完整微型机电系统
输出噪声和随机游走系数的关系如下 螺仪使用的输岀噪声这个指标。并且一定要选定合适的带宽,在能满足使用 要求的前提下,尽量选择带宽较低的陀螺仪,因为带宽越大,输岀噪声越大 (2)测量范围 选择陀螺仪的量程时,应注意以下几点: 最大输入角速率陀螺仪正、反方向输入角速率的最大值,在此输入角速率范围内, 陀螺仪标度因数非线性满足规定要求。 (3)阈值陀螺仪能敏感的最小输入角速率。由该输入角速率产生的输出至少应等于 按标度因数所期望输出值的%。单位: (4)分辨率陀螺仪在规定的输入角速率下,能敏感的最小输入角速率增量,至少应 等于按标度因数所期望输出增量的%。单位:、 选择陀螺仪的测量范围时,最大的角速率是陀螺仪的量程的,最小的角速率应该髙 于阈值、分辨率。 (5)标度因数陀螺仪输出量与输入角速率的比值。 它是用某一特定直线的斜率表示的,该直线是棖据整个输入角速牽范围内测得的输入、 输出数据,用最小二乘法拟合求得。 (6)标度因数非线性度在输入角速率范围内,陀螺仪输出量相对于最小二乘法拟合 直线的最大的偏差与最大输出量之比 环境要求 (1)温度范围要求,必须满足陀螺仪使用的极限温度。 (②)线加速度与冲击。必须满足陀螺仪极限温度 (3)振动条件,分为正弦振动、随机振动。 基本物理参量 主要指重量、体积、功率以及能源种类等方面的要求 可靠性和寿命, 指的是抗冲击、抗干扰的能力和有效的使用时间。 陀螺仪的安装

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ting123498 里面内容很少,要的积分还很多,没什么用,不建议下载
2020-03-18
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