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ProSeries 2
大孔径扫描振镜
产品规格 PS2-20 PS2-25
镜片通光孔径 (mm) 20 25
扫描角度 ±20°
光束位移 (mm) 25.5 29.8
小角度阶跃响应时间 1%全比例
1
(ms) 0.8 0.9
小角度阶跃响应时间 10%全比例
1
(ms) 1.15 3.0
常规标刻速度
2
(m/s) 1.0 0.9
常规定位速度
2
(m/s) 11 11
常规打标速度
2,3
（cps，良好质量） 320 300
常规打标速度
2,3
（cps，高质量）
290 270
重复精度
4
(µrad)
12 12
非线性度（±20° 以上 <0.8% ） 0.1% 0.1%
重量（kg，近似值） 5.0 5.0
共享规格
波长选择
355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
宽带镀膜：350 nm - 12 µm
增益误差 <5 mrad
零点偏差 <5 mrad
倾斜度 <1.5 mrad
分辨率 12 µrad
长时间偏差漂移
5
<100 µrad
长时间比例漂移
5
<100 ppm
温度偏差漂移 <20 μrad/°C
温度比例漂移 <50 ppm/°C
模拟通讯
±10V
数字通讯 XY2-100 协议
命令分辨率 16 位
电源要求 ±15V、5A RMS、最大 10A
操作环境温度 +15°C 至 +35°C
注意：
除非另有指定，否则所有角度均为光学角度。所有规格如有更改，恕不另行通知。
参考：
1. 设置值在位置的 1% 以内。2. 使用 160 mm F-Theta 镜头。3. 单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。
4. 距均值的偏差 <3 sigma（单轴）。5. 预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，单轴。
±15°
