Silvaco TCAD模块简介
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2010-03-14
23:47:31
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TCAD 模块简介
基本模块---ATHENA/ATLAS, Athena 是工艺模拟框架，ATLAS 是器件模拟框架。他们
提供网格的定义、结构的
计算等。
基本模块---DeckBuild，这是运行核心仿真器的交互式环境工具，提供程序运行、暂停、
终止、重启等的控
制。其中另外包含的 EXTRACT 功能使得用户可以进行各种复杂的计算，例如氧化层的厚
度、结深、VT、击
穿电压等。
基本模块---TonyPlot，这是通用可视化工具，提供强大的图形化能力，使得用户可以来观
察和分析仿真器的
输出结果，支持一维的 XY 数据、二维结构数据、Simth 图、极化坐标等功能。
基本模块---DevEdit, 用来进行器件结构的产生、编辑、转换、合并、优化等，优化工艺
和器件之间的网格。
支持自动化的网格优化，手动网格优化等。
可选模块---MaskViews 是 IC 版图工具。用来定义工艺模拟所需要的版图信息，支持
SSuprem4，Optolith，
ATLAS 和 ATHENA。
以下是工艺模拟相关模块的描述
基本模块---SSuprem4 是最先进的一维和二维工艺模拟器，广泛使用于半导体行业，用
来进行半导体工艺的
设计、分析和优化。它精确的模拟了主要的半导体工艺过程，例如：扩散、注入、氧化、
硅化以及外延等。
可选模块---MC Implant 是先进的三维离子注入模拟器，用来模拟单晶或者无定形材料中
的注入，试验证明
其结果非常精确。
基本模块---Elite 是先进的二维表面形貌模拟器，用于模拟现代半导体工艺中的刻蚀、淀
积、回流以及 CMP
工艺。它精确的模拟了各种复杂工艺，例如多层金属化、深槽刻蚀、APCVD、LPCVD
等工艺中的表面形貌
的变化过程。
可选模块---MC Etch/Depo 是先进的表面形貌模拟器，通过统计方法来仿真表面的变化
过程。
可选模块---Optolith 是非等平面光刻模拟器，可以仿真现代深亚微米光刻技术中的各个方
面：成像、显影、
烘烤以及显影等，可以精确的仿真 OPC、PSM 等技术，研究工艺窗口等。
以下是器件仿真模块的描述
基本模块(硅器件技术)---S-Pisces Si 基半导体器件核心仿真器，用于仿真器件的电学特性、
光学特性以及温
度特性。
可选模块---TFT2D/3D 是先进的器件技术仿真器，其物理模型和专用数字技术是模拟非晶
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