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基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计
基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计
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基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究 (2006年)
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试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好。
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301Vol.30,No.120062LASERTECHNOLOGYFebruary,2006:1001-306(2006)01-0047-03LIGA*马龙,周月豪,熊良才,柳海鹏,史铁林,4300
基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制 (2007年)
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微型电磁继电器的仿真与加工工艺研究* (2014年)
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设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小...运用UV-LIGA技术,完成工艺的流程设计。通过反复实验,提出了增强金属与基底的粘附性的有效方法。
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在众多影响UV-LIGA(Ultra-violet lithography Gal- vanik abformung)技术制备微细金属零件尺寸精度的因素中,SU-8胶溶胀性是最主要的。通常采用隔离带方法降低SU-8胶的溶胀性,以提高电铸微细零件的尺寸精度。由于贵重...
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