美国联邦 FED STD 209 规范演进
启用时间 标准代号 修正之内容
1963,12 209 洁净室运转原则
1966,8 209A
洁净室设计与测试方法
压力
温度 相对湿度 45%
气流方式:层流式和紊流式
震动
洁净室等级分类: Class 1, 100, 10000, 100000
1973,4 209B 相对湿度修正为 40± 5%
1977,5 209B 修正 增加 Class 1000
1987,10 209C
修正洁净室等级和测试方法 增加 Class 1, 10
明确定义量测 particle 位置、样品数及时间
Class 100 量测 particle 由 5um 和 0.5um 增加 0.3 、 0.2um
Class 10 和 1 量测 particle 增加 0.3 、 0.2 、 0.1um
1988,6 209D 改正 209C 上一些印刷上的错误
1992,12 209E
采取公制单位
为明确表示公制法,在其等级前加 “ M” 字母示別
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