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电子专业LED芯片实习报告
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2010-04-08
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在现代的社会中,需求的是应用型的人才,而我们都是刚刚从学校里出来,什么经验都没有,就连识别招聘者身份真假的基本知识都是非常有限。在人才的市场上,几乎每一个企业都是打着“有经验者优先”的旗号,而对于我们这些学生来说简直是致命的一击,且不能真正体现出一家公司的复杂性和人与人之间的交流,以及技术上的运用。而整个市场的行情可由控盘者操纵,这样其实也就变成了名副其实的公司
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目录
前言................................................................................................... 0
第一章 实习单位简介...................................................................... 1
第二章 LED 芯片制造基本知识.....................................................2
2.1 LED 基础知识......................................................................................................................2
2.2 芯片制造的基础知识...........................................................................................................4
第三章 芯片制造的工艺.................................................................. 8
3.1 LED 芯片制造过程..............................................................................................................8
3.2 基线工艺流程.......................................................................................................................9
第四章 LED 芯片制造的光刻.......................................................10
4.1 光刻机.................................................................................................................................10
4.2 光刻工艺.............................................................................................................................11
第五章 实习体会与建议................................................................ 14
5.1 总结.....................................................................................................................................14
5.2 个人建议.............................................................................................................................14
前言
中国的 产业的发展要参与国际竞争,特别是与国际大公司的竞争。所
以,我们中国发展 产业,可以研究与借鉴国际大公司的发展思路。 产
业链较长,包含材料、芯片、封装及应用。国外大公司注重上游的同时,也注
重中下游的同步发展。上游产业是高度技术密集与产品高度规范的环节,未来
产业在这部分将相对集中,甚至全世界仅有几个大的公司。中下游产业的
产品是具有多样性的,企业将相对分散。所以,中国在上游产业应着眼与培育
少数大的有实力的企业,企业以技术先进性为主;而在中下游,中国应致力于
发展专利,应用型专利。
晶能光电项目的启动,源自于一项高新技术的诞生。作为一种全球趋势,
新能源、新材料的研制一直是高新技术领域研究和追逐的重点之一。长期以来,
在全球半导体照明材料研制领域,均由美国、日本垄断。在日本,以日亚公司
为代表,采用的是在蓝宝石上生长氮化镓出蓝紫光的技术。在美国,以美国
公司为代表,采用是在碳化硅上生长氮化镓出蓝紫光的技术。相比之下,
在这一领域内,我国始终没有形成拥有自主知识产权的技术与产业。“硅衬底蓝
光二极管材料及器件”是一种新型的发光材料与器件,即用“硅”代替传统的“蓝宝
石”或“碳化硅”作衬底,制造发光二极管材料及器件。以这种衬底生产的器件的
成本只是以“蓝宝石”或“碳化硅”为衬底的器件的几十分之一。该项技术一诞生,
便被学术界认为是新型发光材料与器件领域内,足以与美日技术相媲美的“第三
种技术”,填补了国内空白。
产业的发展要注重标准,专利。标准是规范整个行业的有效手段,有利于
产业的发展。专利保护利于技术进步。除此之外,针对 的特点,采用协议
的方式也是促进本土产业发展的一个有效途径。
第一章 实习单位简介
.实习单位:是晶能光电(江西)有限公司集成整合部门,实习的时间是从
年 月 日开始到 年 月 日止一共是四周。主要内容是研
究 衬底 基 芯片制造及其工艺要求。
公司概况
晶能光电有限公司于 年 月 日在开曼群岛注册成立,引进金沙江
创投、、、淡马锡控股、 ! 等创业投资机构
万美元。
晶能光电(江西)有限公司以南昌大学发光材料与器件教育部工程研究中
心为技术依托,由晶能光电有限公司投资创立,注册资金 万美元。公司
从事硅衬底氮化镓基 外延材料与芯片生产,在氮化镓基半导体发光材料领
域创造性地发展出第三条技术路线。该技术是一种改写氮化镓基 历史的新
技术,具有原创技术产权,已获得或者公开国际国内发明专利 多项。
硅衬底氮化镓基 芯片具有如下三大优势:
(一)具有原创技术产权:产品可销往国际市场,不受国际专利限制。
(二)具有优良的性能:产品抗静电性能好,寿命长,可承受的电流密度高。
(三)器件封装工艺简单:芯片为上下电极,单引线垂直结构,在器件封装时
只需单电极引线,可简化封装工艺、节约封装成本。
" 年 月 日,在江西省委、省政府,南昌市委、市政府,高新区,省
市有关部门及南昌大学的的大力支持下,产业化一期项目顺利开工。" 年
月,公司入驻新厂区;# 年 月开始试产,形成年产 $ 亿粒芯片的产能。
公司产业化将按“统一规划,分期实施”原则,分三期进行建设:第一期将于
年完成,项目总投资 万美元,建成后形成年产 亿粒芯片的产能。
第二期投资 -$ 亿美元,实现年产值 $-% 亿美元,力争成为全球蓝、绿
光 龙头企业之一。
第三期建设 应用产品及产业集群,吸引全球半导体照明上下游配套产
业在南昌集聚,建设成为有中国特色的 与半导体照明基地。
1
第二章 LED 芯片制造基本知识
2.1 LED 基础知识
的电流&电压特性
理想二极管方程:
如果正向电压 V>>kT/e 则
I' IseeV/kT,将 代入改写方程得到:
I=C.ee(V-VD)/Kt
2
ln
i
DA
n
NN
q
kT
Uo
V
D
e
2
图 1 LED 的 I-V 特性曲线
由上述方程可知,当正向电压接近
D
时,电流将迅速增大,此后电流再增大,
电压几乎不变。当掺杂浓度很高时:
('
D
')*
)为半导体材料的禁带宽度
()通常所说的 工作电压指,给 通上 + 电流所需要的电压。
()实际工作的 的压降主要来源于:,& 结、 电极接触电阻、 型半
导体层体电阻,- 电极接触电阻、- 型半导体层体电阻。
.)*/0
($)传统 的接触电阻和体电阻很小,工作电压主要取决于 ,& 结的性质。
和 与外延和芯片工艺的关系
()外延工艺对 的主要影响因素为各层掺杂浓度和厚度,影响掺杂
浓度的因素:
掺杂元素的流量与掺杂浓度一般呈线性关系。
材料组分不同,掺杂效率可相差很大。
温度对杂质掺入效率有很大影响。
气压对杂质掺入效率有很大影响。
未掺杂层或低掺杂层的厚度对电压有决定性影响,而温度场的均匀性对厚
度均匀性具有很大影响。
()外延工艺导致的电压问题一般在 123 上具有与反应室形状相关的
分布。
($)芯片工艺对 的影响主要在于欧姆接触的质量。对于确定的电极材
料,则影响欧姆接触的主要因素有:半导体材料的表面清洗质量,金属的纯度,
金属层的厚度,合金温度和气氛,接触层蚀刻或粗化的深度,电极面积的大小。
(%)外延工艺对 的影响:
,& 结附近掺杂浓度越高, 越低,反之越高。
()芯片工艺对 的影响:欧姆接触不良, 升高;钝化不良, 下
降;芯片尺寸缩小(或台面钻蚀), 升高;
3
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资源评论
- XuZking2012-09-15还不错,内容很详细的
- mars5dida2013-03-04一看就知道是校内课程报告,实习过程中的工业生产细节基本没有描述。
- lxhtk2012-02-05挺好,挺详细的,基础知识啥的都挺详细,不过就是真正实习过程中的工业生产细节基本没有,一看就知道是校内课程报告,不过对于我这样想要了解LED基础知识的还是很不错的
- lwj1058984182013-11-05那是实习啊,简直是···
lilyluckydoudou
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