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PolyMUMPs design handbook

2009-08-30 上传大小:1.67MB

伯克利mems课程参考用书
Table of Contents
Chapter 1: Three-Layer Polysilicon Surface Micromachining Process
1.1 Introduction .....................................................................................
................................................................................. 1
1.2 Process Overview............................................................................................................................................................. 2
Chapter 2: PolyMUMPs Design Guidelines and Rules
2.1 Introduction .................................................................................................................................................................... 11
2.2 Design Rules ................................................................................................................................................................... 12
2.3 Beyond the Design Rules................................................................................................................................................ 31
2.4 Film Parameters ............................................................................................................................................................. 36
2.5 EZ-PolyMUMPs Design Rules.......................................................................................................................................... 38
2.6 Layout Requirements ..................................................................................................................................................... 38
2.7 Die Reservation and Layout Submission........................................................................................................................ 39
2.8 Custom Dicing, Releasing and Critical Point Drying....................................................................................................... 39
2.9 Other Reference Material ............................................................................................................................................... 40
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