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MEMS 考试复习题

（占 80%）

第一章绪论

1. 微电子工业与 MEMS 的关系(网上搜索)

切题：

微电子工业与 MEMS 的关系主要有以下几点：

1) 对于 MEMS 的发展而言，微电子工业集成电路技术是起始点。比如 XXX->YYY。集成电路产业按

照摩尔定律一直发展到今天，推动着信息社会的迅速发展。MEMS 是由集成电路技术发展而来的。

它经过了大约 20 年的萌芽阶段，在萌芽时期，主要是开展一些有关 MEMS 的零散研究。

2) 集成电路是用微电子技术制造控制芯片，以控制宏观非电子系统的运作。而 MEMS 用批量化的微

电子技术制造出微纳尺寸的微观非电子系统，实现集成电路这个电子系统和非电子系统的一体化集

成，从根本上解决信息系统的微型化问题，实现许多以前无法实现的功能。

3) 今天的 MEMS 的发展与 40 年前的集成电路类似，MEMS 对未来的社会发展的推动已经逐步显现，

它也是 21 世纪初一个新的产业增长点。

不切题:

1) 微系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展。70 年代微机械压力传感器产品问世，

2) 80 年代末研制出硅静电微马达，90 年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等

相继规模化生产，充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景。

3) 电子器件小型化和多功能集成是微加工技术的推动力。

2. 几种主要的商业化 MEMS 器件及其优点(列举两到三种)

概括：

1) MEMS 压力传感器优点：具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。

2) 喷墨打印头优点：廉价，性能好，可以提供高品质的彩色打印。（高分辨率，高对比度）

3) 数字光处理器(DLP) 优点：与 LCD 投影相比，DLP 具有更高的像素填充因子，更高的亮度、灰度

和对比度，光利用效率高，对比度和色彩平衡的长期稳定性好。

4) 集成惯性传感器（高灵敏度，低噪声，低使用成本，满足了汽车市场使用的需要）

5) 加速度传感器（16 对地震监测的超高灵敏度，高可靠性与长期稳定性）

具体：

(1) MEMS 热喷墨头

喷墨打印机的原理如下：（点 3）

硅的 MEMS 加工技术使得喷墨打印技术成为可能，并且具有很好优势。MEMS 技术可以加工出尺寸

非常小，排布非常密集的喷嘴阵列，这对于实现高分辨率和高对比对打印非常重要；另外，喷墨空

腔可以制造得非常小，使得里面的墨水能够迅速升温/降温，使得喷墨打印获得较高的打印速度。

(2) MEMS 压力传感器（39）

硅压阻式压力传感器是一种薄膜原件，是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变

换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如

无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。

(3) MEMS 加速度传感器

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